Добро пожаловать на сайт Saftherm

E-mail :inquiry@saftherm.com

WhatsApp:0086 18939003516

Главная

Продукт

Муфельная печь

Тручатая печь

Промышленная камерная печь

Вакуумная атмосфера Печь

Атмосферная печь

Печь с выдвижным подом

Подъемная печь

Части печи

Сервис

Служба по работе с клиентами

Кейс

Загрузки

О нас

О компании

Сертификат

История

Визит клиента

Наша фабрика

Контакт

Трубчатая печь с системой плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD)1200℃

1.Cерии: STGP Cерии

2.температурой нагрева :1200°C

3.Рабочая температура:1100C

4.Размеры трубы печи: Φ40x1200 мм

5.Размер зоны нагрева:440 мм

6.Напряжение питания:220 В/1,8 кВт

7.Нагревательные элементы:Фехралевая проволока

8.Материал трубы печи:Кварцевая трубка

9.Термометрический элемент:Термопара N-типа

Трубчатая печь с системой плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) с температурой нагрева 1200℃

I. Назначение изделия

Система PECVD (система плазмохимического осаждения из паровой фазы) состоит из четырех основных блоков: блок трубчатой печи, блок получения вакуума, блок контроль расхода и блок высокочастотного источника питания. Данное оборудование с помощью высокой частоты в 13,56 МГц позволяет получать ионизированные газы с атомами вещества тонкой пленки, в вакуумной камере формируется плазма, благодаря ее значительной химической активности улучшаются условия для протекания химических реакций, что вызывает химическую реакцию газообразных веществ, из которых формируется тонкая пленка. Таким образом, реализуется новая технология производства тонкопленочных материалов, в результате которой получается пленка, осажденная на подложку. Данная технология применима для осаждения пленок SiO2 и SiNx при температуре 1200°C.

II. Особенности изделия

1. Система трубчатой печи химического осаждения из газовой фазы (CVD) состоит из трубчатой печи, блока получения вакуума, блока контроля расхода и блока высокочастотного источника питания

2. На выбор имеются трубчатые печи с разнообразными диаметрами трубы и длиной термостатической зоны, оба конца трубы оснащаются уплотнительными фланцами из нержавеющей стали, обеспечивающими работу в условиях глубокого вакуума;

3. Исходя из требований к испытаниям, вакуумная система может быть укомплектована различными вакуумными насосами, механическим пластинчато-роторным вакуумным насосом со степенью разрежения ≤5 Па, вакуумной установкой с молекулярными насосами со степенью разрежения 1×10-4 Па;

4. Система подачи газа в газовый тракт опционально оснащается системой с ручным 3-ходовым поплавковым расходомером и 3-ходовым автоматическим массовым расходомером

5. Измерение вакуума производится с помощью цифровой комплексной вакуумной установки или манометра Пирани

6. Для получения плазменного разряда выбирается источник питания с частотой 13,56 МГц с выходной мощностью 200 Вт, 300 Вт и 500 Вт

7. Трубчатые печи выпускаются либо с одной температурной зоной длиной 440 мм, либо с тремя и более температурными зонами для проведения испытаний путем создания температурного градиента

8. По желанию возможна комплектация терморегулятора с встроенным цифровым коммуникационным портом стандарта RS485 и USB-адаптером, с помощью которых возможно подключение ПК, осуществление дистанционного управления и мониторинг системы, а также сохранение и экспорт результатов испытаний.

9. Продукция соответствует стандарту ЕС CE.

Трубчатая печь с системой плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD)1200℃ Технические параметры:

Модель	STGP-40-12	STGP-60-12	STGP-80-12	STGP-100-12
Размеры трубы печи	Φ40x1200 мм	Φ60x1200 мм	Φ80x1200 мм	Φ100x1200 мм
Номинальная температура	1200℃
Рабочая температура	1100℃
Размер зоны нагрева	440 мм
Напряжение питания	220 В/1,8 кВт	220 В/2,6 кВт	220 В/2,6 кВт	220 В/2,6 кВт
Нагревательные элементы	Фехралевая проволока
Материалы рабочего пространства печи	Поликристаллический керамический волокнистый материал из неорганического оксида алюминия, полученный методом влажной вакуумной фильтрации
Материал трубы печи	Кварцевая трубка
Точность регулирования температуры	±1℃
Термометрический элемент	Термопара N-типа
Терморегулятор	Интеллектуальный микропроцессорный PID-регулятор температуры, SCR/SSR управление, функция самонастройки параметров PID; программируемые 4 группы по 8 сегментов, программируемое повышение, поддержание и снижение температуры
Скорость повышения температуры	Произвольное регулирование в диапазоне 1-25℃/мин
Конструкция корпуса печи	Встроенный термоконтроль рабочей камеры, рабочая камера распашного типа; двухслойный корпус, теплоизоляция циркулирующим воздухом
Характеристики уплотнения	Оба конца трубы печи оснащены металлическими фланцами из нержавеющей стали, которые комплектуются высокотемпературными шайбами из ПТФЭ, что обеспечивает работу под вакуумом со степенью разрежения ≤5 Па (пластинчато-роторный вакуумный насос)
Высокочастотный источник питания	Частота: 13,56 МГц±0,005%, Мощность: 5 Вт-500 Вт, стабильность мощности ：±0.5%
Регулирование расхода газа	На выбор имеется 3-ходовой поплавковый ручной расходомер с диапазоном 60-600 мл/мин; 3-ходовой автоматический массовый расходомер с диапазоном 1-500 куб. см
Характеристики защитной атмосферы	Возле фланцев с обоих концов трубы имеется впускное и выпускное отверстие, а также манометр на металлическом фланце, подвод и отвод газа регулируется с помощью прецизионного игольчатого клапана, допускается подача азота, аргона, водорода и других защитных газов
Присоединения газового тракта	Присоединение к вакуумным насосам выполняется фланцами KF25 через вакуумный дроссельный клапан и сильфоную трубу из нержавеющей стали с фланцем KF25; установка формирования защитной атмосферы присоединяется с помощью цанговых штуцеров из нержавеющей стали 6 мм и трубок из PTFE
Защита оборудования	Модульное управление, выдача сигналов светозвукового оповещения при перегреве или внезапном прекращении нагрева в процессе работы, автоматическое выполнение действий при срабатывании защит
Предохранительные средства защиты	Оборудование оснащено автоматическим выключателем, который автоматически размыкается в случае короткого замыкания или утечки тока, тем самым обеспечивая защиту оборудования и безопасность оператора
Наружный корпус	Выполнен из высококачественной листовой холоднокатаной стали, раскрой которой выполнен на станках с ЧПУ, внешняя поверхность подвергнута обработке методом шлифования, полировки, фосфатизации, кислотной промывки, а также выполнено электростатическое напыление порошкового покрытия
Сертификация качества	ISO9001 CE SGS TUV